規(guī)格參數(shù)：
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
| 型號(hào) | SRS-1CS |
| 對(duì)象基板尺寸 | 大?。?0W×70Lmm以下，高：保持面上下共 10mm以下 |
| 裝置尺寸 | 加熱爐：320（W）×285（D）×310（H）（mm） 制御部：290（W）×235（D）×270（H）（mm） |
| 加熱方式 | 上面：熱風(fēng)，下面：遠(yuǎn)紅外線輻射 |
| 冷卻方式 | 導(dǎo)入外部氣體（氮?dú)饣蚩諝猓?附帶冷卻用流量調(diào)整閥門 |
| 電源 | 3相 200V 50/60Hz 3kVA |
| 外部氣體 | 0.3～0.5MPa 100升/min(MAX) |
| 爐內(nèi)氧濃度 （氮?dú)馐褂脮r(shí)） | 最低100ppm(爐內(nèi)密閉構(gòu)造) |
| 基板托盤 | 平板 |
| 上面加熱 | 熱風(fēng)式：約2.8kW（約350W×8系列） ※可對(duì)基準(zhǔn)噴嘴進(jìn)行偏差設(shè)定 |
| 下面加熱 | 遠(yuǎn)紅外線加熱器：約360W |
| 溫度精度 | 5℃以內(nèi)（最大基板中央50W×50Lmm范圍內(nèi)） |
| 測(cè)定溫度 | 常溫～330℃ |
| 測(cè)定點(diǎn)數(shù) | 3點(diǎn) |
| 氮?dú)夤┙o機(jī)能 | 流量調(diào)整閥門 25?/min |
| 控制用專用軟件 | SRS-1CS OS：Windows、XP |
| 裝置重量 | 加熱爐：約12kg 控制部：約8kg |
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| 攝像觀察系統(tǒng)(VDM-2) | 上面觀察 |
附件下載：
長(zhǎng)按屏幕識(shí)別二維碼
打開手機(jī)掃描二維碼
